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通过大量的实践证明，同一台SF6电气设备，在不同温度下测量设备内的气体湿度，其结果不同，在温度高时，会释放渗透在材料内部的水分，使气体中的水汽随温度的升高而增大，在温度降低时，气体中的水汽又凝聚在外壳及绝缘材料表面，使气体中的水汽含量减少，环境温度高时，测量湿度高。环境温度低时，测量湿度低，随着电力行业的迅猛发展，电力行业大量设备的投入，尤其是SF6电器设备的不断增加，对SF6气体抽真空充气装置的安装调试以及检修维护的要求越来越高，系统中真空泵的进口处装有电磁真空带充气阀，并与真空泵接在同一个电源上，当泵停止工作时，阀能自动将真空系统封闭，并将大气通过泵的进口充入泵腔，从而避免泵油逆流污染真空系统。

 

抽真空系统采用双级旋片式真空泵，在系统中设有自动防止返回SF6气体抽真空充气装置，净化系统采用原理过滤器，过滤器采用电加热及内装吸附剂，净化效果更显著，SF6气体抽真空充气装置的控制系统采用技术的SF6阀门，抽真空充气*高、能耗少电源设有相序自动换相系统，高精度热偶真空计，简洁实用，目前有单位使用的化学比色管法检测分解产物，但因其灵敏度低，只能作定性或半定量的检测，其较适合事故后故障部位的查找，难以检测设备早期的故障，SF6气体抽真空充气装置控制系统采用技术的SF6阀门，方便现场使用，便于移动，不伤害地面，而且试验电压低、电流小，难以检出设备的早期隐患。规程中的化学法有纯度、湿度和检漏项目,这些方法只能评价安装维护工艺，与内部故障无直接关系。