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   SF6气体检漏仪由气源按检测要求提供稳定的检测气源，然后通过设备加压到被测工件上，当工件内部压力达到检测压力后，气体经过一段时间的稳定后进入检测阶段，当被检测工件没有泄露时，检测压力基本保持不变，当被测工件存在泄露，工件内的气体压力随着气体从被测工件中泄露而逐步下降，压力传感器实时输出相应的压力变化，进而按预先设置的参数，系统自动判断是否泄露，检测过程完全系统自动化，消除了人为因素的影响，

    SF6气体检漏仪通电后铂丝温度上升至工作温度，空气以自然扩散方式或其它方式到达元件表面，当空气中无可燃性气体时，桥路输出为零，当空气中含有可燃性气体并扩散到检测元件上时，由于催化作用产生无焰燃烧，使检测元件温度升高，铂丝电阻增大，使桥路失去平衡。
    红外源产生一个包含全部波长的高强度，综合红外光谱能量流并穿过滤光器，滤光器将阻挡冷媒吸收光谱之外的所有红外光谱能量流，已过滤的红外能量撞击检测器，导致它发热，当冷媒被内置泵拉动通过取样室时，某些红外能量被冷媒吸收，这导致达到检测器的红外能量减少相应地检测器的温度降低，SF6气体检漏仪具有被测气体特有波长的光被吸收，从而使透过测量室这一光路而进入红外线接收气室的光通量减少，气体浓度越高。
     进入到红外线接收气室的光通量就越少。而透过参比室的光通量是一定的，进入到红外线接收气室的光通量也一定，透过测量室和参比室的光通量差值就越大。