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sf6气体检漏仪工作原理主要看器仪器采用是某种方式的传感器进行检测，SF6气体检漏仪传感器类型分析如下：
| 各种SF6传感器的性能比较 | ||||||||
| 传感器类型 | 工作原理详细描述 | 可检测气体种类 | 优点 | 缺点 | 适应场合 | 备注 | ||
| 高频电离法 | 对稀薄气体进行高频电离时，电负性气体分子可以吸附电子转为大质量离子，其在电磁场中的速度远比电子慢，因此气体会表现出不同的电特性。 | 电负性气体，主要为SF6和卤代烃 | 检测下限浓度，小于100ppb的SF6浓度也可以被检测出来，不中毒 | 装置复杂，工作稳定性不好，操作不算方便，每次使用前都需要标零，对多种其他气体也敏感 | 用于检测微量泄漏的定量检漏仪器 | 高频电离法应用广泛 | ||
| 半导体法 | 高温半导体吸附极性分子（含有卤素的分子容易具有极性的极性）后特性发生变化 | 醇类，醛类，卤代烃，主要为各类制冷剂和溶剂 | 价格低廉 | 对SF6完全不敏感（SF6不属于卤代烃，也不是极性分子，不会被吸附） | 不适合监测SF6 | 半导体法 | ||
| 激光光声法 | 使用波长等于SF6气体吸收峰的激光照射被测气体，当被测气体中含有SF6时，会吸收激光能量并发热膨胀，产生声波。 | SF6 | 检测下限浓度，可达1?10ppb， | 装置复杂，价格较昂贵，有一定误报概率，检测取样多，响应速度慢 | 用于检测微量泄漏的定量检漏仪器 | 声光法 | ||
| 超声波法 | SF6气体碳酸盐浓度。当气体中含有SF6时，平均分子量变大，其中声速相应降低。 | SF6 | 工作较稳定，装置简单，价格低廉 | 分辨率低，检测下限较高（通常在数十ppm以上），受温湿度影响大，受其他气体干扰大 | 可以做双气体（例如SF6和氮气混合气体）中SF6含量测量用 | 超声波法 | ||
| 激光光谱法 | 利用SF6对10.6微米激光的强吸收，测得吸收池中气体的SF6浓度 | SF6 | 0.01PPM | 价格昂贵，工作不稳定 | 被激光光声法和红外光谱法取代 | 激光法 | ||
| 红外光谱法 | 提供测量通道和参考通道，分别加装不同波长的滤光片，使之获得不同波长的红外光，测量通道内部波长位于SF6的吸收峰上，参考检测通过两个通道的红外光，并做对比，比值即表征了被测气体中的SF6浓度。 | 各种具有红外吸收峰的气体，只针对SF6气体有作用 | 完全真实的SF6浓度值，装置较简单，体积小，精度高，工作稳定，寿命长，漂移小，不中毒 | 检测下限高于ECD法，高频电离法和激光光声法。每年需要对传感器进行标定，价格适中 | 在线监测和手持式定量检漏仪 | 红外光谱法精度高，性能稳定，目前广泛应用 | ||
| 高压击穿法 | SF6具有很强的灭弧性能。使用高电压击穿气体，当气体中含有SF6时，电弧电流和持续时间都有所变化。检测这种变化，可以探测出SF6气体浓度。 | 各种具有灭弧性能的气体 | 装置简单小巧，也一体灵敏 | 本身短。不适合做定量检测 | 适合做手持的定性式检测仪器 | |||
| 电子逮捕获法（ECD法） | 负离子进入电场，因质量不同，电场下速度不同，在窄脉冲电场下不同质量的电负性气体分子产生不同的电流峰。 | 各种电负性气体 | 对SF6的检测下限极低，可达PPT等级 | 昂贵。线性范围小，SF6浓度稍大即饱和，且有长期拖尾（类似中毒）。 | 用于检测微量泄漏的定量检漏仪器 | 传感器容易中毒 | ||
| 负离子捕获法 | 利用带电的吸嘴（电极）吸气，气体中的SF6由于有强烈的电负性，经过吸嘴时会被吸附带电，产生电流。 | 各种电负性气体 | 装置较简单，操作方便 | 装置通常需要配气泵，检测下限在零点几ppm级，远不如激光光声，电子俘获等方法，寿命短，反应慢 | 用于检测微量泄漏的定量检漏仪器，正在被其他方法取代 | |||
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